G07900 - SEMI G79 - Specification for Overall Digital Timing Accuracy Revision:SEMI G79-0200 - Inactive Although nanotopography measurements have not

Although nanotopography measurements have not been needed for 0

スケジューリングコンポーネントは装置のアイドルタイムを減らすため，（サブストレートおよび耐久材に関する）材料搬送と処理を調整することによって所用時間（TAT）を最小限に抑えることができる。スケジューリングコンポーネントはセットアップタイムを最小限にするように活動を並べることができる。予定された装置ダウンタイムおよび予定外の装置ダウンタイムに対応して所用時間への影響を最小限にすることもできる。TAT全体を最小限に抑えるだけでなく，緊急ロットのプライオリティに対応するため，緊急ロットを可能な限り短い時間でプロセスフロー内を移動させ，それによって影響を受けるプライオリティの低いロットのスケジューリングを調整することもできる。

A brief description of the theory of this Test Method is given in Related Information 1

or gaseous source

This Standard is intended to set levels of specification for glass substrates to insure repeatable manufacture of flat panel displays and uniformity of substrates from all vendors

G07900 - SEMI G79 - Specification for Overall Digital Timing Accuracy Revision:SEMI G79-0200 - Inactive Although nanotopography measurements have notThis Standard was technically approved by the global Automated Test Equipment Technical Committee. This edition was approved for publication by the global Audits and Reviews Subcommittee on December 24, 2011. Available at www. semiviews. org and www. semi. org in May 2012; originally published February 2000. This Standard is intended to provide a minimum common definition of timing accuracy specifications for semiconductor automatic test equipment